Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung eines TES-Bolometers für die THz-Metrologie

 

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M. Kehrt

Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung eines TES-Bolometers für die THz-Metrologie

ISBN: 978-3-95606-280-3   |   Erscheinungsjahr: 2016    |    Auflage: 1
Seitenzahl: 126   |    Einband: Broschur    |    Gewicht: 406 g
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Es wir die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung eines vollständigen lithographisch hergestellten TES-Bolometers für den Spektralbereich von 0,1 THz bis 3 THz beschrieben. Bei der Realisierung kamen Si3-N4-Membrantechnologie, mikrostrukturierte Metallabsorber und SQUID-basierte Ausleseelektronik zum Einsatz. Ziel der Entwicklung war die Herstellung eines Prototypen mit hohen Anforderungen an dessen spektral homogene Absorption und lineares Antwortverhalten über eines hohen Dynamikbereich.

 

PTB Opt-77