Es wir die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung eines vollständigen lithographisch hergestellten TES-Bolometers für den Spektralbereich von 0,1 THz bis 3 THz beschrieben. Bei der Realisierung kamen Si3-N4-Membrantechnologie, mikrostrukturierte Metallabsorber und SQUID-basierte Ausleseelektronik zum Einsatz. Ziel der Entwicklung war die Herstellung eines Prototypen mit hohen Anforderungen an dessen spektral homogene Absorption und lineares Antwortverhalten über eines hohen Dynamikbereich.

PTB Opt-77